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北京科锐:公司控股子公司普乐新能源(蚌埠)有限公司(以下简称“普乐新能源”)目前主要提供真空镀膜工艺设备、半导体工艺设备和显示技术中的缺陷检测设备

发布时间:2020-06-30 17:26    来源媒体:同花顺

同花顺(300033)金融研究中心6月30日讯,有投资者向北京科锐(002350)(002350)提问, 公司在半导体设备方面有何研究或突破

公司回答表示,公司控股子公司普乐新能源(蚌埠)有限公司(以下简称“普乐新能源”)目前主要提供真空镀膜工艺设备、半导体工艺设备和显示技术中的缺陷检测设备,高效背接触导电背板和组件的生产、硅基薄膜光伏组件、弱光用的硅基薄膜光伏芯板等,普乐新能源可以独立设计、制造各类半导体设备及真空镀膜设备,主要包括:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、多靶位卷对卷磁控溅射镀膜系统(Roll-to-Roll)、离子束溅射镀膜系统(IBD)、消影ITO连续溅射镀膜系统(PVD)、低压化学气相沉积系统(LPCVD)、原子层沉积系统(ALD)、激光刻划系统、卷对卷金属箔超声清洗系统等,公司的半导体工艺设备主要包含氧化设备、化学气相沉淀设备(CVD)、物理气相沉淀设备(PVD),尤其是低压化学气相沉积设备LPCVD已经量产并得到上千万的订单。感谢您的关注。

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